然后分類自己的所有硅片，把同一個(gè)厚度的合盒到一起，二級(jí)品分類放好，這樣在測(cè)片的時(shí)候會(huì)減少混片的幾率。(還可以和其它同事調(diào)換一下二級(jí)品或者厚度不同的硅片，這樣就使得大家的類別都少兩樣，測(cè)起來(lái)比較方便，也可以預(yù)防一些小錯(cuò)誤的發(fā)生。)
2、 上機(jī)操作(包括到崗后的開(kāi)機(jī)、維護(hù)、測(cè)片、抽檢等)
在分好片后，接下來(lái)就是換掉平臺(tái)上面的紙、調(diào)整好系數(shù)、對(duì)好樣片、填好校準(zhǔn)記錄。這時(shí)候儀器大概也就該預(yù)熱夠30分鐘可以開(kāi)始測(cè)量了。
測(cè)片時(shí)一定要以仔細(xì)認(rèn)真的態(tài)度去對(duì)待，不可以有似乎的疏忽大意。這樣才可以保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。而且現(xiàn)在的硅片經(jīng)常有電阻率不穩(wěn)定情況出現(xiàn)，經(jīng)常要重測(cè)，甚至反復(fù)測(cè)量。為了減少測(cè)量的次數(shù)首先就要保證看準(zhǔn)測(cè)量數(shù)字，以保證不放錯(cuò)任何一片。因?yàn)榇蠹叶颊J(rèn)識(shí)高低點(diǎn)甚至混檔的重要性。
現(xiàn)在分檔一般情況下低檔的比較穩(wěn)定，但高檔點(diǎn)的像輕磨片40-45的與磁場(chǎng)研磨55-60的就經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)高低點(diǎn)，免磨的就更加的不穩(wěn)定。這樣就造成了像混檔一樣的問(wèn)題。所以測(cè)這兩個(gè)檔的時(shí)候，經(jīng)常要反復(fù)測(cè)量，甚至這樣還是不能保證歸檔的準(zhǔn)確性。所以測(cè)量這兩個(gè)檔的時(shí)候就更加要仔細(xì)，經(jīng)常與同事對(duì)片，對(duì)機(jī)子等，以這樣的方式盡量減少誤差的出現(xiàn)。
在把硅片的電阻率與徑向全部過(guò)完并準(zhǔn)確的寫好小條標(biāo)識(shí)后，就要把所有片的電阻率過(guò)一道，我們統(tǒng)稱為“過(guò)二遍”。過(guò)二遍為的是防止混檔或者大批量的高低點(diǎn)的出現(xiàn)，相對(duì)來(lái)說(shuō)會(huì)比較快一些。但后面抽出的高檔的高低點(diǎn)就要反復(fù)的測(cè)量并與同事之間相互對(duì)照，這樣才能保證準(zhǔn)確歸檔
3、 下機(jī)收尾(數(shù)片、核對(duì)數(shù)量、厚度字條標(biāo)識(shí)等)
在測(cè)完后，就可以數(shù)片、核實(shí)種類、厚度、數(shù)量然后開(kāi)票了，這幾個(gè)環(huán)節(jié)也是一點(diǎn)都馬虎不得，因?yàn)槿魏我粋�(gè)小小的差錯(cuò)都可能會(huì)造成后面一連串的錯(cuò)誤發(fā)生。比如說(shuō)數(shù)少了一片，這樣就要重新來(lái)數(shù)，運(yùn)氣不好的話，可能要全部數(shù)上一遍�；蛘咝l標(biāo)識(shí)上面少填一樣，那么到中轉(zhuǎn)庫(kù)就會(huì)對(duì)不上數(shù)。所以說(shuō)一定要在確保準(zhǔn)確了的時(shí)候才可以合盒交片。
在上面這整個(gè)操作流程中，都始終要嚴(yán)格要求自己，有條不紊的完成好各項(xiàng)工作，以保證不只自己還要有其它各道工序的順利運(yùn)行。當(dāng)然，在這整個(gè)流程中，我還存在著很多不足，有待進(jìn)一步提高，在工作過(guò)程中，缺乏大膽提出可行性建議，缺乏創(chuàng)新意識(shí)。今后應(yīng)加強(qiáng)學(xué)習(xí)不斷總結(jié)經(jīng)驗(yàn)以提高自己的專業(yè)知識(shí)。